直線馬達驅動定位台

校準工作台SA

產品特性

直線電機驅動的X、Y軸有0.1μm和0.5μm兩種分解能,可根據用途選擇。
校準工作臺SA...DE的直線導向部使用直線導軌L和將直線電機驅動的可動台做雙軸正交組合的XY軸,旋轉導向部的θ軸採用交叉滾子軸承和直接驅動方式,是一款低斷面緊湊型做XYθ運動的校準工作臺。
通過高分解能線性編碼器搭配全閉環控制,實現了沒有後移間隙的高精度定位。
而且,直線移動用的X軸可動工作臺和旋轉定位部θ軸轉檯均已標準化,可方便地進行X軸和θ軸的組合或架構XY軸的校準工作臺。 


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