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精密定位台
直线马达驱动定位台
直线马达驱动定位台
校准工作台SA
产品特性
直线电机驱动的X、Y轴有0.1μm和0.5μm两种分解能,可根据用途选择。
校准工作台SA...DE的直线导向部使用直线导轨L和将直线电机驱动的可动台做双轴正交组合的XY轴,旋转导向部的θ轴采用交叉滚子轴承和直接驱动方式,是一款低断面紧凑型做XYθ运动的校准工作台。
通过高分解能线性编码器搭配全死循环控制,实现了没有后移间隙的高精度定位。
而且,直线移动用的X轴可动工作台和旋转定位部θ轴转台均已标准化,可方便地进行X轴和θ轴的组合或架构XY轴的校准工作台。
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